產(chǎn)品中心 應(yīng)用方案 技術(shù)文摘質(zhì)量保證產(chǎn)品選型 下載中心業(yè)內(nèi)動態(tài) 選型幫助 品牌介紹 產(chǎn)品一覽 聯(lián)系我們
- 超薄柔性溫度傳感器破解工藝兼容性難題
- 來源：中國科學(xué)報(bào) 趙宇彤 發(fā)表于 2025/12/26
中國科學(xué)院新疆理化技術(shù)研究所研究員孔雯雯團(tuán)隊(duì)采用“水溶性犧牲層輔助轉(zhuǎn)移”策略，成功破解了高性能敏感材料與柔性基底之間的工藝兼容性難題，制備出總厚度僅40微米的超薄柔性溫度傳感器。相關(guān)研究成果近日發(fā)表于《ACS應(yīng)用材料與界面》。
團(tuán)隊(duì)提出的方案關(guān)鍵在于將敏感材料的高溫制備工藝與其在柔性基底上的器件構(gòu)筑過程分步進(jìn)行。這一設(shè)計(jì)既保障了敏感材料必需的高溫退火條件，又避免了柔性基底因高溫而受損，從而為高性能無機(jī)材料與柔性襯底的結(jié)合提供了可靠技術(shù)路徑。
為保障材料轉(zhuǎn)移后的界面質(zhì)量，研究團(tuán)隊(duì)通過有限元仿真與實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證，設(shè)計(jì)并構(gòu)筑了GeO2/Ta2O5/MCO異質(zhì)界面結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了對界面性能的主動調(diào)控。該結(jié)構(gòu)有效抑制了界面處的元素?cái)U(kuò)散和熱應(yīng)力失配，顯著提升了器件的可靠性與結(jié)構(gòu)完整性�；谏鲜鲛D(zhuǎn)移策略與界面設(shè)計(jì)，超薄傳感器展現(xiàn)出優(yōu)異的綜合性能。其電阻溫度系數(shù)（TCR）達(dá)-4.1%/℃，響應(yīng)時(shí)間僅192毫秒，在反復(fù)彎折與熱沖擊下仍能穩(wěn)定工作。
研究團(tuán)隊(duì)表示，該成果不僅顯著提升了超薄柔性溫度傳感器的綜合性能，更為發(fā)展下一代電子皮膚、可穿戴設(shè)備等柔性智能感知系統(tǒng)提供了關(guān)鍵技術(shù)支撐。
（原載于《中國科學(xué)報(bào)》 2025-12-22 第3版 綜合）
- 如果本文收錄的圖片文字侵犯了您的權(quán)益，請及時(shí)與我們聯(lián)系，我們將在24內(nèi)核實(shí)刪除，謝謝！
